在废气处理设备中蓄热式热氧化燃烧净化装置根据催化燃烧机理，由催化室、电加热箱、热交换器、风机、电控柜五大部分组成。与传统的催化燃烧、直燃式热氧化炉(TO)相比，具有热效率高(≥95%)、运行成本低、能处理大风量低浓度废气等特点，浓度稍高时，还可进行二次余热回收，大大降低生产运营成本。
废气处理设备适应的废气低浓度(低于30%LFL)、大风量;废气中含有多种有机成分、或有机成分经常发生变化;含有容易使催化剂中毒或活性衰退成分的废气;不适用于含有较多硅树脂废气。
当有机废气进入装置首先到热交换器，用催化燃烧后余热通过热交换器把有机废气温度尽可能的提高，通常温升Δt=50～60℃，然后送入到电加热箱内，通过电热管加热到启燃温度，一般在200～250℃。达到温度会自动关闭加热系统，这时就进入催化箱内，进行催化燃烧反应，使有机废气氧化分解成二氧化碳和水，并且释放大量的热量。这时，当有机废气浓度一定量时，产生的余热通过热交换器后温升已经达到启燃温度，这时催化燃烧装置就达到动态热平衡，这样就节省大量的电热功率。
工业废气处理蓄热氧化炉装置
多槽式蓄热氧化炉治理废气的性能特点:不产生NOx等二次污染;超低运行成本。当VOC浓度达到450ppm时，不需要额外的燃 料消耗，如VOC浓度更高，还可进行二次余热回收而大大降低生产成本;很高的VOC去除率。两床设备达98%以上，三床设备超过 99%;全自动控制，操作简易，维护方便。
在工业废气处理中多槽式蓄热氧化炉氧化烧损的因素有:氧化速度开始增加，超过1000℃氧化烧损量成倍增加，加热温度的影响。在超过1000℃的情况下，停留时间越长，氧化铁皮生成量就越大，加热时间的影响。氧气在高温下很小的浓度就能够造成钢坯的氧化，由于FeO的分压值很小，所以O2很容易使铁氧化，炉内气氛的影响。钢坯入炉温度的影响。